Система нанесения тонких пленок

Система с загрузкой и выгрузкой образцов в инертной атмосфере перчаточного бокса для изготовления изделий органической электроники.

Количество камер – 3
Количество источников – 6

Типы источников в системе:
o Магнетрон постоянного тока;
o ВЧ магнетрон;
o Источник ионной очистки;
o Источник ионно-лучевого нанесения;
o Источник термического испарения;
o Электронно-лучевой испаритель.