Установка сращивания кремниевых пластин

При использовании технологии сращивания пластин образование поверхностного слоя производится путём прямого сращивания второй кремниевой пластины со слоем диоксида. Для этого гладкие, очищенные и активированные за счёт химической или плазменной обработки пластины подвергают сжатию и нагреву. Данная технология распространена при получении КНИ-структур МЭМС.

Для получения качественных соединений в установке предусмотрено регулирование и контроль основных параметров анодной сварки:
- величины остаточного давления в камере;
- усилия сжатия соединяемых пластин;
- температуры нагрева соединяемых пластин;
- подача высоковольтного напряжения в зону сварки.
- скорости нагрева соединяемых пластин;
- скорости охлаждения соединенных пластин.
- напуска в рабочую камеру инертного газа.