Вакуумный пост КНМ предназначен для отжига кремниевых пластин и молибденовых дисков диаметром от 50 до 105 мм. Установка содержит газонепроницаемый кварцевый реактор с внешним диаметром 180 мм, с двумя герметичными фланцами, термоизоляционную футеровку, нагреватель до 1200 ºС, систему воздушного охлаждения , систему водяного охлаждения фланцев, трансформаторы нагревателя, систему откачки газов с вакуумными насосами, панель управления.
Оставьте свои данные для связи с нами
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь с условиями о персональных данных
Контакты
Телефон: +7 (499) 729 77 51 micsen@mail.ru
Москва, Зеленоград, Георгиевский пр-кт, дом № 5, строение 1 (Научный центр)